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半导体镀铜工艺（10月08日半导体镀金工艺流程）
发布时间：2023-11-28 16:45:07编辑：连宝中来源：
导读 大家好，我是华网在线火狐来为大家解答以上问题，半导体镀铜工艺，10月08日半导体镀金工艺流程很多人还不知道，现在让我们一起来看看吧！1)...
大家好，我是华网在线火狐来为大家解答以上问题，半导体镀铜工艺，10月08日半导体镀金工艺流程很多人还不知道，现在让我们一起来看看吧！
1)闭合清洗剂液槽，恒温后确认清洗剂液槽液温为60±5℃
2)闭合本镀金槽加热器电源，给相应药液升温确认本镀液槽液温为60～65℃闭合电镀用电源
3)将待镀金硅叠装上专用夹具
4)脱脂：确认清洗剂液槽液温为60±5℃，将夹具置于清洗剂中浸泡5±1min
5)水洗：将夹具在纯水槽中冲洗25s，并用手不断上下摆动夹具
6)酸洗：将夹具在盐酸槽中浸泡60±5s
7)水洗：将夹具置于纯水槽中冲洗25s
8)预镀：将夹具置于预镀液槽中，电镀25s控制电镀电源电压为3.35±0.01v
9)本镀：确认本镀液槽液温为60～65℃，将夹具置于本镀槽中，本镀2.0±0.5min，调整电镀电源电流为0.6±0.1a，电镀电压不定
10)后处理：将夹具依次转入两级水洗槽中，每级水槽各清洗25s
11)脱水干燥：将夹具转入甲醇槽，浸泡60s然后置于红外线烘箱中，干燥5min。
本文到此结束，希望对大家有所帮助。
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